超大量程偏振光直线位移传感器系统研究

探索超大量程偏振光型直线位移检测的新原理与新方法。研究能提供多种物理量综合信息的光机电集成式传感系统。基于偏振光检测的周期性、连续性，将结构原理、检测方法与微电子技术相融合，实现突破量程限制的大位移检测。提出偏振光非线性预矫正和双传感光路光反馈的新思路。为满足工业和科学实验中超大量程直线位移检测与控制的要求提供新手段。