大量程亚微米级高精度位移传感器及微位移定位系统
基本信息
批准号：68874026
项目类别：面上项目
资助金额：2.50
负责人：杨世雄
学科分类：
依托单位：重庆大学
批准年份：1988
结题年份：1991
起止时间：1989-01-01 - 1991-06-01
项目状态： 已结题
项目参与者：顾庆祥,唐晓初,张优稿,牛茂更,陈骥,余红
关键词：
大量程气浮工作台超精密微位移系统
结项摘要
项目摘要
项目成果
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数据更新时间：2023-05-31
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