大量程亚微米级高精度位移传感器及微位移定位系统

基本信息
批准号:68874026
项目类别:面上项目
资助金额:2.50
负责人:杨世雄
学科分类:
依托单位:重庆大学
批准年份:1988
结题年份:1991
起止时间:1989-01-01 - 1991-06-01
项目状态: 已结题
项目参与者:顾庆祥,唐晓初,张优稿,牛茂更,陈骥,余红
关键词:
大量程气浮工作台超精密微位移系统
结项摘要

项目摘要

项目成果
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数据更新时间:2023-05-31

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