非制冷多色焦平面阵列关键敏感材料研究

基于氧化钒薄膜的热敏效应和氧化钒－电极金属接触光生伏特效应，首次提出，单一探测单元结构和单一敏感材料实现中红外、远红外、可见及紫外等宽光谱探测的新型非制冷多色焦平面阵列概念。通过理论研究与实验研究相结合开展高性能热敏氧化钒薄膜薄膜的制备及性能分析、氧化钒薄膜薄膜的光学特性及氧化钒－电极金属接触特性等方面的研究；建立氧化钒薄膜宏观电学特性、光学特性与薄膜组分、微观结构以及工艺参数间的数学联系，建立氧化钒－电极金属接触光生伏特效应的理论模型；结合创新的高稳定性和高重复性反应溅射工艺制备出能探测中红外、远红外、可见及紫外的氧化钒薄膜材料，为实现新型非制冷多色焦平面阵列提供关键的敏感材料支持。