作为长波红外低折射率材料的十种稀土氟化物和稀土氧化物薄膜研究

在空间红外光学系统中，长波红外增透迫切需要具有环境安全性和良好空间环境耐受性的低折射率材料，稀土氟化物和稀土氧化物具有独特的优势。然而，在三十四种稀土氟化物和稀土氧化物中，绝大多数材料薄膜的长波红外光学性质（诸如光谱透过率、折射率和吸收系数）以及空间环境耐受性的数据非常缺乏，这方面的研究非常少，从而给空间应用的光学薄膜设计带来了限制。.因此，在本项研究中，我们将研究氟化铒、氟化钐、氟化镨、氟化钕、氟化铈、氟化镱和氟化钇等七种稀土氟化物，氧化铒、氧化钆和氧化钇等三种稀土氧化物薄膜的长波红外光学性质以及环境耐受性。并在此基础上研究进薄膜沉积工艺对薄膜结构的影响，薄膜的微结构、组分与薄膜光学常数之间的关系。.希望能够以此项研究作为一个开端，今后能完成三十四种稀土氟化物和稀土氧化物薄膜的研究，为红外光学薄膜的设计增加可选择材料的种类。