本项目针对沉积在金属电极上的随机取向钛酸铋薄膜难以具有优良的铁电性能(抗疲劳性好、大剩余极化、小矫顽场)这一难题,通过变价稀土掺杂,改良钛酸铋薄膜的铁电性能,并研究其机理。采用磁控溅射技术,在金属铂电极上制备出不同系列变价稀土镨和铽掺杂的性能优良的随机取向钛酸铋铁电薄膜;考察其铁电性能随稀土离子种类、含量以及制备工艺参数变化规律,总结出铁电薄膜的最佳配方和工艺参数;结合掺杂引起的微观参量的变化以及由此产生的铁电性能的影响的分析和理论计算,给出符合实验结果的微观理论解释。本项目研究的重要目标之一是使变价稀土掺杂的随机取向的钛酸铋薄膜具有剩余极化Pr>35 μC/cm2、矫顽场Ec<60 kV/cm和优异的抗疲劳性。本项目的研究具有重要的应用和科学价值,其研究成果将为稀土掺杂改善钛酸铋铁电性能的研究提供新的思路,为新一代的铁电存储器等铁电应用提供新的优良材料、理论依据和技术参数,为我国优势稀土
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数据更新时间:2023-05-31
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