面向显示基于MEMS光栅平动式光调制器基础理论和关键技术研究

本课题在前期研究工作的基础上，首次提出对基于MEMS的可动光栅、下反射镜和蟹型悬臂梁构成的微光元件的结构进行优化，反射面进行处理，从而构成新型的基于MEMS光栅平动式光调制器阵列的新思想和新方法。采用大功率LED作为光源，在部分相干光入射器件阵列条件下，研究相应的光学、力学、电学、以及系统耦合的原理；研究器件调制性能与LED光源相干度、光源线宽等关系，解决LED光源能量收集和均匀化问题；研究光学信息处理关键技术，重点设计信息处理系统中傅立叶透镜、滤波器等关键元件；研究器件阵列重要性能参数的测试方法；构建实验系统，进行实验验证。.为光栅平动式光调制器阵列性能提高，逐步应用于投影显示等领域，提供一定的理论和技术基础。具有重要的科学意义和极大的经济效益。