基于软磁多层膜交流阻抗效应的新型力敏传感器研究

鉴于外力能软磁磁致伸缩材料交流阻抗效应的显著影响及其在力敏传感器领域中的巨大应用前景，本项目首次提出将薄膜制备技术与微机电系统技术相结合，制作基于薄膜材料应用阻抗效应的力敏传感器。系统研究不同结构下多层膜中应用力阻抗效应特性与外力（压力或张力）、磁导率、磁各向异性场、磁畴结构、磁致伸缩系数等之间的关系及其产生的机理。