高气压低温等离子体中自由基的光腔衰荡光谱原位诊断

高气压低温等离子体中自由基的原位定量诊断对研究及改进等离子体工艺过程，探索等离子体微观反应机理具有重要意义，也是该领域的难点之一。光腔衰荡光谱技术是国际上新近发展起来的高灵敏度吸收光谱技术，具有极高的检测灵敏度（可达ppt级）和光谱分辨率以及可绝对定量测定、对被测体系扰动小等优点，非常适合于对等离子体中活性物种的绝对浓度进行原位定量测定。近年来随着体积小巧的二极管激光器的发展，连续波光腔衰荡光谱技术逐渐引起了人们的重视，并极有希望在不久的将来发展成为一种标准在线检测仪器。我们正建立此装置并拟对在降解室内及工业排放的挥发性有机废气等方面具有重要应用前景的大气压介质阻挡放电等离子体以及在等离子体消毒等领域前景广阔的微波等离子体中起重要作用的OH、HO2、HCO等自由基进行国际上首次光腔衰荡光谱原位定量诊断研究，探索提高某种特定自由基浓度的方法和添加物，并建立相应的自由基反应动力学模型。