支持直接实体建模的表面微加工MEMS CAD关键技术研究

MEMS（微机电系统）器件日益复杂的趋势使得传统MEMS设计方法已无法满足其设计需求，引入直接几何建模法进行MEMS器件设计已势在必行。直接几何建模法能够以直观的方式先对MEMS器件进行几何建模，而后求出其工艺模型。如何将直接几何建模法，特别是直接实体建模法，应用于复杂的表面微加工MEMS器件设计，还面临一系列挑战性的问题。本项目研究支持直接实体建模的表面微加工MEMS CAD关键技术，其主要研究内容有：（1）表面微加工MEMS器件的可制造性分析与评价方法；（2）基于整体实体模型的表面微加工MEMS 器件的健壮掩模综合方法；（3）表面微加工MEMS 器件三维模型精化设计的支持方法；（4）表面微加工MEMS精确实体模型的简化方法与精确的表面微加工工艺模拟方法。本项目的研究对于实现MEMS 器件的直接实体建模、进而实现复杂MEMS器件设计和MEMS器件创新设计将起到积极显著的作用。