微型化法-珀腔阵列光谱探测器集成化技术的研究
基本信息
批准号：60308007
项目类别：青年科学基金项目
资助金额：23.00
负责人：陈刚
学科分类：
依托单位：重庆大学
批准年份：2003
结题年份：2006
起止时间：2004-01-01 - 2006-12-31
项目状态： 已结题
项目参与者：胡松,温中泉,梁玉前,杨桂荣,黄俭,蒋励强
关键词：
微型光谱仪光电阵列探测器法珀腔阵列集成化技术MEMS
结项摘要
本课题首次提出利用微电子技术和MEMS技术，根据法-珀腔的光学滤波原理，研究不同腔长法-珀腔组成的高密度法-珀腔阵列、微透镜、光电探测器阵列和信号电路一体化混合集成的相关基础理论和关键技术，以构成一种无活动部件的集成化微型光谱仪的新思想和新方法，是实现光谱仪器传感器化的一次全新的探索研究。该集成法-珀腔阵列光谱探测器具有体积很小、高光通量、高灵敏和高可靠性等优点，可满足工农业检测、环境监测、医学、
项目摘要
项目成果
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数据更新时间：2023-05-31
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