本项目首先对衍射光学元件的设计进行探讨,推导出一维元件的近似理论,提出了一种足够精度的近似方法,编制了衍射图形的数值化计算程序设计系数并给出了设计结果。同时对多层膜膜系进行了设计,分析和计算了近似理论的误差。此外,我们还依据量子散射理论研究了衍射反射元件,提出并推导了设计原理编制了数值化计算程序系统,对多种使用条件下的衍射图形进行了计算,结果与国外文献相吻合。在研制衍射反射元件的过程中,首先分析和实验研究了多层膜的热和化学稳定性,证明了衍射反射元件制备的多层膜在常规光刻工艺过程中是稳定的,并采用设计制作掩模的传统光刻工艺,实现了元件制作,性能满足设计要求。
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数据更新时间:2023-05-31
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