LiTaO3/Si结构的智能剥离(Smart-cut)研究
基本信息
批准号：90101012
项目类别：重大研究计划
资助金额：23.00
负责人：林成鲁
学科分类：
依托单位：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
批准年份：2001
结题年份：2004
起止时间：2002-01-01 - 2004-12-31
项目状态： 已结题
项目参与者：万青,多新中,刘卫丽,章宁琳,门传玲,沈勤我
关键词：
薄层转移智能剥离离子注入
结项摘要
采用改进的智能剥离技术以LiTaO3为主要对象，研究氢、硼氢共注入、以及氦氢共注入和后续热处理对气泡层形成的影响和内部应力行为，通过优化注入与热处理条件，实现单晶薄层的分离。研究L.TaO3为代表的压电、铁电等单晶材料与硅的键合，进而实现LiTaO3薄层的智能剥离与转移，获得LiTaO3/Si新材料，为系统集成特别是光电子集成提供新技术依据。.
项目摘要
项目成果
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数据更新时间：2023-05-31
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