铜铁矿基薄膜的脉冲激光制备与室温臭氧敏感性能研究

铜铁矿基CuMO2（M=Al，Cr，Sc等）薄膜由于它的p型透明导电性、良好的热电性质等，在近年来受到广泛关注。最新的研究还表明，CuAlO2在室温下对臭氧的响应具有良好的选择性和可逆性，这种室温响应特性对于研制新型室温臭氧传感器具有十分重要的意义，但响应灵敏度的提高是目前面临的最大研究课题。.本课题组的最新研究发现，随着M位离子半径的增加，CuMO2的臭氧响应灵敏度有明显提高，可以预期M位离子半径大于等于Sc的CuMO2薄膜室温臭氧响应灵敏度可比CuAlO2高几个数量级，从而实现该研究领域的突破，推出一类新型室温臭氧传感材料。我们将采用脉冲激光溅射法进行铜铁矿基CuMO2薄膜的制备，并研究M位离子半径、制备工艺参数对薄膜臭氧敏感性能的影响，建立起M位离子半径－生长机理－材料微结构－臭氧敏感性能的关联，以期探索出新型室温臭氧传感材料。