铅基压电薄膜材料的脉冲激光制备及相关力学性能

微电子技术的发展和高度集成化趋势要求具有压电效应的薄膜材料。但各工艺参数影响着膜的制备，膜在服役过程中热－力－电耦合载荷作用下的界面效应、疲劳效应和尺寸效应等，使其应用受到限制。本项目用脉冲激光法制备铅基压电薄膜，探求工艺参数与相变规律和膜性能的关系，并对膜的热－力－电耦合响应、疲劳机制和破坏效应进行研究。