n-型立方氮化硼薄膜/p-型金刚石薄膜异质结及薄膜器件研制

n-型立方氮化硼（c-BN）薄膜和p-型金刚石薄膜异质p-n结的研制，是这两种宽带侗∧げ牧显诎氲继搴凸獾缱恿煊蛑杏τ玫淖罟丶方凇Ｖ灰饩隽苏飧鑫侍猓堑挠τ醚芯坎拍苁迪滞黄啤?.本项目采用MW-ECR-CVD、HF-CVD和溅射等方法制备高质量n-蚦-BN/p-型金刚石全薄膜结构的p-n结，并研究这种结构的电学性能、光发射及p-n结物理特性。