大规模复杂重入型制造系统的建模方法的研究

本项目旨在采用先进制造系统、离散事件动态系统，以及生产调度与控制等理论和方法，研究并解决以半导体晶圆片制造系统为代表的微电子制造业的大规模重入型制造系统(LRMS)的建模方法问题。提出基于拓展型面向对象Petri网(EOPN)的建模原理和系统分析方法；建立基于EOPN模型的自治与协调的控制体系；并在基于EOPN的过程模型中融入多目标生产控制目标从而得到过程-参数一体化模型，使之能够进行多目标优化的LRMS生产控制与调度；研究基于EOPN的LRMS计算机自动建模仿真系统。本项目研究大规模、复杂的具有高度重入特征的制造系统建模方法，丰富了我国制造系统理论方法；并且项目涉及半导体芯片制造这一具有极大发展潜力的制造业，对于提高我国微电子制造业的生产技术水平和经济效益，提升其参与国际市场竞争能力，具有重要的应用价值。