纳米硅/掺杂氧化硅结构薄膜的发光特性研究

纳米硅/掺杂氧化硅结构薄膜是一种特定设计的半导体发光材料，在微电子和光电子器件方面都具有广泛的应用前景。利用磁控溅射法在硅基衬底上淀积纳米硅/掺杂氧化硅层状结构薄膜，研究纳米层的厚度和后处理条件，以及氧化硅中引入的发光中心对光致发光和电致发光的影响，获得其最佳参数。最终制得发光性能优良的硅基发光材料。