纳米碳化硅薄膜的发光特性研究

本项目利用碳化硅的宽禁带特征和纳米尺寸晶料的量子限制效应，用热丝及电子回旋共振化学气相淀积方法，以硅烷和甲烷作为反应气体，通过控制反应气体的流量化、反应室的压力等薄膜沉积参数。成功地淀积出了纳米碳化硅薄膜。用高分辩电子显微镜、X射线光电子谱仪、X射线衍射仪、喇曼衍射仪和红外吸收谱仪对薄膜结构分析得出：薄膜是由纳米尺寸的碳化硅晶粒镶嵌在无序的碳化硅网络中构成。薄膜在室温条件下能够发出较强的短波长可见光。研究结果表明：纳米尺寸碳化硅晶粒对光发射起着重要的作用。这个结果丰富了硅基半导体材料发光研究的内容。由于纳米碳化硅薄膜的光发射效率高，可望在大面积平面显示、光电集成等领域得到应用。