基于纳米硅结构的硅基光电集成材料的可控光发射研究

近年来纳米硅的发光为硅基光电集成提供了新途径，如何有效地提高纳米硅的发光效率？本项目立足于与当前微电子工艺相兼容的技术手段，在超薄非晶Si层激光诱导限制晶化技术的基础上，制备出三维均匀分布的纳米硅量子点列阵。根据一维光子晶体的设计原理和多层膜的生长技术，设计和制备镶嵌有纳米硅量子点的全硅基的光学微腔：研究在全硅基光学微腔中纳米硅量子点的发射机理并控制发光峰位置，谱峰宽度。探索制备能在室温下工作的光泵浦和电泵浦硅基光发射器件的可能性，为实现硅基光电集成打下基础。