基于硅基纳米结构的可变波长光发射与微腔效应

本项目立足于与当前微电子工艺相兼容的的技术手段，制备出纳米硅基半导体/绝缘介质薄膜复合结构材料，研究不同的介质材料，特别是碳化硅、氮化硅、二氧化硅介质，对纳米硅表面的钝化效果并对其结构与光学特性进行系统表征和研究；在此基础上，配以适当的设计形成硅基全固态光学微腔以实现发光二极管原型器件，研究在微腔结构中的固体发光行为并控制发光峰位置、谱峰宽度；与此同时，将研究对像从纳米硅扩展到其他纳米硅基化合物材料，利用组分的因素对发光性质，特别是发光波长的影响，探索制备能在室温下工作的光泵浦和电泵浦硅基光发射器件的可能性。