稀土硅化物薄膜的固相外延及其物性研究
基本信息
批准号：69806005
项目类别：青年科学基金项目
资助金额：14.20
负责人：谢二庆
学科分类：
依托单位：兰州大学
批准年份：1998
结题年份：2001
起止时间：1999-01-01 - 2001-12-31
项目状态： 已结题
项目参与者：贺德衍,邵乐喜,马锡英,岳金顺,路永刚,公维宾
关键词：
稀土硅化物固相外延
结项摘要
利用非平衡固相外延技术制备高质量外延薄膜,通过不同稀土元素,不同结构硅化物的固相反应实验,研究固体材料中原子互扩散和互反应的物理和化学过程,分析其规律和机制.研究用煌椒ㄉさ腅RSI2的电学,光学,界面等性质及其改进途径,以获得能满足电子器件质量要蟮牟牧?为发展我国亚微米硅电子及光电子器件提供新材料的新材料和新技术.
项目摘要
项目成果
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数据更新时间：2023-05-31
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