多层薄膜固相反应与Co-Ni系硅化物薄膜外延及应用研究
基本信息
批准号：60106002
项目类别：青年科学基金项目
资助金额：18.00
负责人：茹国平
学科分类：
依托单位：复旦大学
批准年份：2001
结题年份：2004
起止时间：2002-01-01 - 2004-12-31
项目状态： 已结题
项目参与者：李炳宗,屈新萍,韩永召,徐蓓蕾,蒋玉龙
关键词：
固相反应中间层诱导固相外Ni硅化物Co
结项摘要
在本课题组前期研究基础上，深入研究多层薄膜固相反应和中间层诱导固相外延Co-Ni系金艄杌锉∧げ牧现票负推骷τ眉际酰沂径嗖惚∧す滔喾从媛珊椭屑洳阌盏脊滔嗤庋踊恚冉隙嘀中滦妥远宰脊杌锕ひ斩郧硃n结、肖特基结特性的影响，为发展先进微电子骷峁┙鹗艄杌锉∧ば虏牧虾托录际酰刮夜诮鹗艄杌镅芯苛煊虼τ诠是傲小
项目摘要
项目成果
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数据更新时间：2023-05-31
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