基于小波分析的表面形态表征及其与薄膜体特征参量的关系

提出一种结合小波变换和分形几何概念的薄膜表面形态的量化表征方法，以便对薄膜表面各向异性结构及其演变行为进行定性描述和定量表征，特别是进一步利用这种方法考察薄膜体结构和体性能的表面映射，尝试建立薄膜表面形态与内部组织、结构、残余应力的相关性。通过提取薄膜的表面特征信息，从表面形态学的角度提炼总结薄膜物相结构演变对表面形貌的影响、薄膜晶体取向变化与表面形态各向异性的关系、沉积和退火后薄膜残余应力变化的表面效应等问题，探讨薄膜表面形态和结构各向异性变化的唯象理论和组织学机制，以期达到通过控制薄膜表面形态优化薄膜若干组织和性能的目的。