气相沉积陶瓷薄膜的内应力及其对材料表层强度的影响
基本信息
批准号：59001450
项目类别：青年科学基金项目
资助金额：4.00
负责人：徐可为
学科分类：
依托单位：西安交通大学
批准年份：1990
结题年份：1993
起止时间：1991-01-01 - 1993-06-01
项目状态： 已结题
项目参与者：郑森林,陈瑾,于利根
关键词：
内应力陶瓷薄膜表层强度
结项摘要
项目摘要
项目成果
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数据更新时间：2023-05-31
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