离子束辅助沉积技术制备非晶合金膜的研究

非晶薄膜以其优异的性能成为多学科关注的焦点之一。对于具有正混合热和小组元金属尺寸差系统，过去仅能用离子束混合制备很薄的薄膜，难于走向实际应用，本项目提出用离子束辅助沉积技术制备这些系统的非晶厚膜，研究其成膜条件、规律和机理及获得的非晶厚膜的物理、化学性能，为发展新型非晶薄膜材料提供理论依据。