多晶纳米硅薄膜热传导的分子动力学研究

应用分子动力学方法对高温退火制备多晶纳米硅薄膜实施计算机实验模拟，求得不同晶粒尺寸的热传导物性参数，与已有的实验结果比较，并用Boltzmann方程进行分析，研究不同晶粒尺寸对热传导的影响。丰富材料微尺度热物性参数的数据库，为微电子机械系统的器件设计提供参考。