微波ECR等离子体工艺中不稳定性的机理研究
基本信息
批准号：19805008
项目类别：青年科学基金项目
资助金额：8.00
负责人：刘明海
学科分类：
依托单位：华中科技大学
批准年份：1998
结题年份：2001
起止时间：1999-01-01 - 2001-12-31
项目状态： 已结题
项目参与者：江中和,胡爱华
关键词：
ECR等离子体不稳定性非线性动力学
结项摘要
建立等离子体非线性动力学现象的物理模型和数值模拟方法,找出.不稳定现象与实验条件⒐ひ詹问涞哪谠诹?并指出抑制这.些不稳定性的有效途径,为ECR等离子体在微电子加工(刻蚀、薄膜.制备)中的工业应用提供理论参考.
项目摘要
项目成果
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数据更新时间：2023-05-31
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