ECR等离子体中的多碳氟基团研究
基本信息
批准号：10175048
项目类别：面上项目
资助金额：24.00
负责人：宁兆元
学科分类：
依托单位：苏州大学
批准年份：2001
结题年份：2004
起止时间：2002-01-01 - 2004-12-31
项目状态： 已结题
项目参与者：程珊华,叶超,辛煜
关键词：
ECR等离子体碳氟薄膜等离子体化学
结项摘要
研究微波ECR高碳氟C5F8等离子体中宏观参量气压、功率、流量和偏压对电子密度、温度和能量分布，多碳氟中性基团、正负离子基团的产生和行为的影响；确定控制氟化非晶碳薄膜生长的优势基团和主要反应路径；给出它们与膜结构、成分及电学性质、热和化学稳定性间的关系；阐明可用于深亚微米集成电路介质层的氟化非晶碳薄膜的生长机理.
项目摘要
项目成果
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数据更新时间：2023-05-31
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