感应耦合等离子体中真空紫外光谱的实验研究
基本信息
批准号：10105006
项目类别：青年科学基金项目
资助金额：18.00
负责人：郭志刚
学科分类：
依托单位：清华大学
批准年份：2001
结题年份：2004
起止时间：2002-01-01 - 2004-12-31
项目状态： 已结题
项目参与者：李赞良,杨冰,马杰
关键词：
等离子体处理活性粒子真空紫外
结项摘要
.本.项.目.通.过.实.验.研.究.低.温.等.离.子.体.材.料.处.理.设.备.中.的.真.空.紫.?谱.线.强.度.及.其.空.间.分.布.随.等.离.子.体.的.各.种.运.行.参.数.的.变.化.规.律.，.来.确.定.等.离.子.体.中.活.性.粒.子.的.种.类.、.浓.度.、.空.间.分.布.及.其.变.化.规.律.。.实.验.结.果.将.有.助.于.确.定.在.半.导.体.材.料.处.理.工.艺.中.?最.佳.条.件.，.即.增.强.相.关.活.性.粒.子.浓.度.的.同.时.，.最.大.限.度.地.减.少.由.真.空.紫.外.幅.射.造.成.的.半.导.体.材.料.中.氧.化.层.的.损.坏.。....
项目摘要
项目成果
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数据更新时间：2023-05-31
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