掺杂金刚石膜机械性能及其可加工性研究
基本信息
批准号：50075039
项目类别：面上项目
资助金额：18.00
负责人：左敦稳
学科分类：
依托单位：南京航空航天大学
批准年份：2000
结题年份：2003
起止时间：2001-01-01 - 2003-12-31
项目状态： 已结题
项目参与者：相炳坤,谢筱萍,卢文壮,方捷,闫静,陈传飞,徐锋
关键词：
金刚石膜掺杂机械性能
结项摘要
采用热丝法通过气相掺杂B、P、N等元素获得金刚石膜，研究工艺参数对掺杂金刚石膜微结埂⒂αΑ⒂捕取⑷托缘然敌阅艿挠跋欤呕ひ詹问煌保芯肯咔懈睢⒌缃飧春涎心サ确椒ǘ圆粼咏鸶帐さ募庸ぬ匦浴１狙芯恐荚谕ü粼犹岣呓鸶帐さ哪湍バ浴⒛腿刃院涂杉庸ば裕愿纳平鸶帐すぞ呤褂眯阅芎徒档徒鸶帐すぞ咧圃斐杀揪哂兄匾庖濉
项目摘要
项目成果
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数据更新时间：2023-05-31
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