纳米金刚石膜的机械性能及其工具应用基础研究

采有双偏压热丝化学气相沉积法以及交替成核和生长工艺以便抑制晶粒长大，生长较厚的工具用纳米金刚石膜；检测纳米金刚石膜硬度、强度、韧性、耐磨性、表面粗糙度等机械性能；试制纳米金刚石涂层刀具，检测纳米涂层对膜基结合力和工作表面粗糙度的影响；试制纳米金刚石厚膜刀具，检测其断续切削等性能。这对推动金刚石膜工具产业化具有重要意义。