共掺杂N型同质外延CVD金刚石膜的制备和性能研究
基本信息
批准号：50082005
项目类别：专项基金项目
资助金额：15.00
负责人：何贤昶
学科分类：
依托单位：上海交通大学
批准年份：2000
结题年份：2003
起止时间：2001-01-01 - 2003-12-31
项目状态： 已结题
项目参与者：沈荷生,戴永兵,胡晓军,杨小倩,万永中
关键词：
电学性能CVD金刚石掺杂
结项摘要
项目摘要
项目成果
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数据更新时间：2023-05-31
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