电子束无损显微分层内窥半导体和集成电路透视仪
基本信息
批准号：60227102
项目类别：专项基金项目
资助金额：80.00
负责人：胡问国
学科分类：
依托单位：云南大学
批准年份：2002
结题年份：2005
起止时间：2003-01-01 - 2005-12-31
项目状态： 已结题
项目参与者：木崇俊,胡宗高,李萍,朱世秋,李亚文,肖玲,周开邻,梁竹关,王建
关键词：
透视仪电子束无损显微分层内窥
结项摘要
按电磁学、电子光学、电镜学、电子电路、计算机软件硬件和半导体原理研制成专用扫描电镜，加装频闪器、Lockin、数字扫描、图像采集与处理。研制成了分层仪和透表仪安装到这专用扫描电镜中，研制成一台突破扫描电镜功能，能分层和透过表面绝缘层检测半导体和多层集成电路的电子束无损显微分层内窥半导体和集成电路透视仪。社会、经济和科学价值高
项目摘要
项目成果
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数据更新时间：2023-05-31
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