半导体材料微电子器件分层体视及内窥的研究

基本信息
批准号:69581002
项目类别:专项基金项目
资助金额:9.80
负责人:胡问国
学科分类:
依托单位:云南大学
批准年份:1995
结题年份:1997
起止时间:1996-01-01 - 1997-12-31
项目状态: 已结题
项目参与者:胡宗高,李萍,徐晓华,李亚文,周开邻,马琳,肖玲,骆涌,高伟
关键词:
分层体视及内窥微电子器件半导体材料
结项摘要

项目摘要

项目成果
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数据更新时间:2023-05-31

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