钛硼碳氮（TiBCN）超硬薄膜强化和高热稳定性的规律和机制

通过对纳米结构的设计，四元体系纳米复合超硬薄膜TiBCN可以综合TiBN和TiCN薄膜的优点，近年来备受关注。但其强化和高热稳定性的规律和机制尚无人详细研究。因此研究TiBCN薄膜的制备和强化机理，确定其具有高热稳定性的规律和机制，不仅可以丰富纳米材料知识，而且为研制高硬度和高热稳定性的其他四元体系的纳米复合薄膜奠定理论基础。本申请采用非平衡磁控溅射方法制备TiBCN纳米复合超硬薄膜，通过研究溅射参数对TiBCN相组成、纳米结构及力学性能的影响，搞清TiBCN薄膜组成相和纳米结构的形成规律以及对力学性能的影响；通过对具有不同相组成和纳米结构的TiBCN薄膜热稳定性的研究，搞清相组成、纳米结构对TiBCN薄膜热稳定性的影响。本研究将达到如下目标：.*搞清TiBCN的强化机理；.*确定TiBCN具有高热稳定性的规律和机制；.*提出TiBCN纳米结构设计原则。