物理气相沉积纳米复合氮化钛-氮化硅超硬薄膜的制备和表征
基本信息
批准号：50082006
项目类别：专项基金项目
资助金额：14.00
负责人：宋力昕
学科分类：
依托单位：中国科学院上海硅酸盐研究所
批准年份：2000
结题年份：2003
起止时间：2001-01-01 - 2003-12-31
项目状态： 已结题
项目参与者：范秋林,肖兴成,胡行方,何超,彭晓峰
关键词：
超硬薄膜纳米复合氮化钛氮化硅
结项摘要
项目摘要
项目成果
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数据更新时间：2023-05-31
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