GaN半导体中的残留杂质和本征缺陷

基本信息
批准号:69976023
项目类别:面上项目
资助金额:11.70
负责人:康俊勇
学科分类:
依托单位:厦门大学
批准年份:1999
结题年份:2002
起止时间:2000-01-01 - 2002-12-31
项目状态: 已结题
项目参与者:黄启圣,沈耀文,张志鹏,余辛,肖细凤
关键词:
残留杂质GaN本征缺陷
结项摘要

用波长色散X光谱分析非掺GaN中残留杂质;用高分辨透射电子显微镜及其能量色散X光谱观烊毕萁峁辜白槌桑挥糜馄撞饬糠⒐馍钅芗叮挥美绽贡浠痪阜纸馍钅芗端蔡蟮酶髦稚钅芗兜募せ钅堋⒎袷评莺褪磕堋S玫谝辉泶笮统椒D釭aN中杂质缺陷产生的电子结构变化,尤其是杂质能级在禁带中的相对位置,为提高GaN质量提供依据。

项目摘要

项目成果
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数据更新时间:2023-05-31

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