用波长色散X光谱分析非掺GaN中残留杂质;用高分辨透射电子显微镜及其能量色散X光谱观烊毕萁峁辜白槌桑挥糜馄撞饬糠⒐馍钅芗叮挥美绽贡浠痪阜纸馍钅芗端蔡蟮酶髦稚钅芗兜募せ钅堋⒎袷评莺褪磕堋S玫谝辉泶笮统椒D釭aN中杂质缺陷产生的电子结构变化,尤其是杂质能级在禁带中的相对位置,为提高GaN质量提供依据。
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数据更新时间:2023-05-31
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