MEMS光开关光可变衰减器单片集成的理论与技术研究
基本信息
批准号：60278028
项目类别：面上项目
资助金额：31.00
负责人：吴文刚
学科分类：
依托单位：北京大学
批准年份：2002
结题年份：2005
起止时间：2003-01-01 - 2005-12-31
项目状态： 已结题
项目参与者：李静,刘俊,栗大超,袁勇,缪旻,王成伟
关键词：
MEMS光开关MEMS光可变衰减器单片集成
结项摘要
本项目首创性地提出了应用创新差动复合微镜结构的MEMS光开关光可变衰减器单片集成芯片结构，以及一套用以制造核心片结构的新工艺集成技术。建立了研究微光学MEMS器件光能分布的蒙特卡罗理论模型和对微光学MEMS器件微镜表面光学粗糙度的理论评价体系，本项目系交叉学科的创新性前沿研究，具有重要的理论意义和显著的应用价值。
项目摘要
项目成果
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数据更新时间：2023-05-31
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