基于聚焦离子束应力引入技术的三维纳米结构成型方法及理论研究

本项目原创性提出基于聚焦离子束应力引入技术（FIB-SIT）的三维纳米结构成型方法。该新概念纳加工方法的实质是利用和控制FIB致纳米尺度表面损伤，从而利用和控制因这种结构损伤而造成的纳米结构的应变变形，以实现将二维纳米结构（或简单三维纳米结构）灵活、可控、可重复地转变成三维纳米结构（或复杂三维纳米结构）。成型出的三维纳米结构的特征尺寸可小于100纳米。本项目将深入研究和开发该新概念纳加工方法，包括揭示工艺机理，建立工艺模型，扩展材料适用面，建立系统性、定量化、可设计的工程运用方法，在不同种类材料上制备出复杂三维纳米功能结构（如三维纳米螺旋线圈），并探索其应用。该新概念纳加工方法突破了现有微/纳加工工艺进行三维加工的技术和应用限制，开辟了一条制备多种多样三维纳米结构的新道路，将在构筑各种纳米器件及系统上获得广泛应用。该新概念纳加工方法的提出和建立，是纳米器件及系统制造方面的一项重要发展。