结构一体化光开关、光可变衰减、光可调功率分配多功能MEMS器件理论与结构研究

本项目原创性提出以结构一体化方式实现光开关、可变光衰减和可调光功率分配的多功能MEMS器件。该新型MEMS器件以多维多面运动方式来切换、调整多斜率反射侧壁上的反射镜群，使其以多样工作姿态实现相应定义的不同光功能。此外，本项目建立了一种基于机电与工艺特性目标函数的新型遗传算法实现的器件结构设计算法；建立了一种新型多斜率侧壁微镜结构；建立了一种具有多维、多平面运动能力的静电型驱动器结构和一套用以制造该器件结构的新的工艺技术。本项目中提出的新型反射面技术和驱动器结构，将为其他MEMS光学器件的研制提供极富启发性的借鉴。该新型多功能器件的结构一体化设计方法突破了现有的多功能光学集成技术和应用限制，开辟了一条研制结构紧凑、高性能、低成本的多功能光学MEMS器件的新道路，将在构建各种新型全光通讯网络系统上获得广泛应用。因此，该新型多功能器件的提出和建立，是光学MEMS器件及全光网络方面的一项重要发展。