微机构可调谐阵列光学滤光器的研究

本项目将光学薄膜与电子技术相结合，应用微电子技术，构造微机构灵巧型可调谐光学滤波器阵列。通过对微间距，微结构静电作用力的理论与实验分析，研究探讨高速可调谐微机构型光学滤波器的实现方法与可能性。项目的研究工作将为新一代微机构型阵列灵巧型光学滤光器打下基础。该类器件在现代的通讯，传感技术中有重要的应用前景。