珐珀滤光器控制器研究

Fabry-Perot Interferometer can be used as filters. With advantags of simple principle,tunable pass-band,high transmittance and readily available material, its application has been increasing. The controller is the key component for the FPI system. In this proposal, we suggested a FPI controller be set up, and our main target is to measure the gap with an accuracy of 100pm with its parallelism better than 0.1nm.

珐-珀滤光器是一类重要的滤光器，具有原理简单，可进行连续波长光谱扫描，通光效率高，材料易获取等显著优点。在F-P系统中，电控系统是其关鍵。本申请拟研制一台F-P所用的控制器，主要目标是对珐珀腔间隙进行绝对测量。最终，控制器对光学平板的平行度控制精度要优于0.1nm, 对间隙宽的测量精度要达到100pm.

（1）按计划执行情况。.项目按期完成，达到设计指标要求。.按原计划，项目执行期为2014.01～2018.12，本项目在执行期间，取得足够的进展，碰到的问题也很多：.电路部分：电路我们做了两个方案，一个是全模拟方案，进展顺利，在2018年5月达到技术指标要求；一个是全数字方案，取得一定进展但没有达到技术指标要求。这两种方案可以相互替代，所以我们认为电部份已经完成。.光学件：项目集中在控制器上，但作为光电接合的部分，必要的玻璃件也是不可少的。光学件的工作集中在测微电容的制作上，到2018年11月，基本上完成测微电容与玻璃的结合工作，达到实用水平。..（2）研究目标完成情况。.抛开全数字方案，我们电路部分对F-P间隙的控制稳定度达到1.8nm（带宽100HZ时），稳定时间达到4小时，噪声水平达到 0.67pm/根赫兹，工作带宽可调，已达到实用水平。.测微电容的制作主要是工艺问题，要求是连接线抗拉扯，无边缘效应，接入电阻小于5Ω（基于我们电路的补偿能力）并且与光学工艺无干扰。经过长达四年的实验和改进，2018年11月达到实用水平。目前，抗拉扯达到2公斤，接入电阻在0.1~0.16Ω区间，其结构无边缘效应，不影响光学膜的镀制。