用表面等离子体波技术动态测微小转角研究

本课题利用激发表面等离子体波时从入射角的微小变化可以引起反射光相位显著变化的原理，结合调制技术，完成了传感器体积小，测量分辩率高（8.3×10（-8）孤度）的微小转角理论和实验研究。此研究可用于纳米机械阿贝误差补偿和空间受限处度测量。对物体逼近激发表面特性的研究导致了利用此技术研究纳米定位工作的开始。本项目研究推动了该技术在机械领域应用研究的开展。研究得到的利用反射光相位的特性制作的传感器优于振幅特性传感器的结论有助于改进现有表面等离子体波仪器和传感器。本项目研究已申请专利一个，在国际会议发表特邀论文一篇，国际刊物两篇，国内刊物一篇。另外两篇被国内核心期刊接收，待发表一篇。一篇已寄给国际刊物，两名研究生毕业。