表面等离子体波亚纳米指零技术和器件的研究
基本信息
批准号：59875051
项目类别：面上项目
资助金额：16.00
负责人：殷纯永
学科分类：
依托单位：清华大学
批准年份：1998
结题年份：2001
起止时间：1999-01-01 - 2001-12-31
项目状态： 已结题
项目参与者：曾理江,宋德强,高赛
关键词：
表面等离子体波残余温漂
结项摘要
长时间纳米测量、定位中的残余温度漂移可以用亚纳米的零位指示器归零消除．采用表面等离子体波原理构成的零位指示器具有亚纳米分辨率、探头直径大、探头工作距离长、接近过程有预报信号逐渐达到特征距离，探头不易损坏，适合超精加工使用．现有的原子力探针为接触测量，而光子隧道方法的探针细且工作距离小，容易损坏，不适于亚纳米指零．
项目摘要
项目成果
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数据更新时间：2023-05-31
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