硅基铌酸锂光电信息功能薄膜的研究
基本信息
批准号：90101009
项目类别：重大研究计划
资助金额：24.00
负责人：何军辉
学科分类：
依托单位：浙江大学
批准年份：2001
结题年份：2004
起止时间：2002-01-01 - 2004-12-31
项目状态： 已结题
项目参与者：李先杭,顾星,王宇,李嘉炜,陈汉鸿,邹璐
关键词：
硅基薄膜铌酸锂薄膜脉冲激光沉积法
结项摘要
利用准分子脉冲激光沉积技术在单晶硅衬底上外延生长具有C轴取向的铌酸锂薄膜，探索具杏帕脊獠ǖ夹阅艿谋∧さ淖罴焉ぬ跫?利用表面物理的技术手段对硅基铌酸锂薄膜的表面形貌、结晶形态及化学组成进行系统的研究，从而探明影响薄膜光波导性能的关键因素。此项研究对于光纤通信领域中硅基铌酸锂薄膜光波导器件的研制具有十分重要的奠基作用。
项目摘要
项目成果
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数据更新时间：2023-05-31
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