多相光刻伺服盘技术研究
基本信息
批准号：68873018
项目类别：面上项目
资助金额：5.05
负责人：张江陵
学科分类：
依托单位：华中科技大学
批准年份：1988
结题年份：1990
起止时间：1989-01-01 - 1990-12-31
项目状态： 已结题
项目参与者：华诚,罗敢,陈耀武
关键词：
多相伺服盘光伺服刻写技术光刻伺服盘
结项摘要
项目摘要
项目成果
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数据更新时间：2023-05-31
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