用于芯片光刻定位的高速精密表面电机的研究

最大限度减小工作台重量是实现半导体芯片光刻定位高速、精密运动的关键。具有最小移动惯性质量的表面电机是解决这一问题的有效途径。本课题通过建立表面电机动力学与电磁学耦合方程及其数值分析，探讨可实现平面高速精密运动的电磁驱动原理、控制策略、反馈测量方法以及技术的实现手段，由此开展微型表面电机设计、制造的基础研究。