面向光刻机的超精密平面电机的设计与试验研究

针对同步扫描光刻机运动要求，进行纳米级精度的高速精密永磁平面电机设计方法研究，并研制原理样机。研究磁场、线圈、冷却系统的优化方法，实现大推力、低温升，避免热变形误差；研究电机磁场的精密计算模型，实现磁场阵列的优化布局，降低驱动非线性与轴间互感耦合；进行结构动态刚度分析，避免强磁场作用以及高速惯性力作用下产生结构变形与振动；进行电机热分析与冷却结构，提出一种良好散热结构；研究平面电机参数的精密测试与标定方法，并结合精密运动试验，基于动力学特性，研究对三自由度合成运动结果数据的精密运动解耦分离方法，实现对驱动特性参数的精密标定，满足高速、纳米级精度的运动控制要求。