微细光刻金属掩模版的飞秒激光加工研究
基本信息
批准号：50575176
项目类别：面上项目
资助金额：28.00
负责人：梅雪松
学科分类：
依托单位：西安交通大学
批准年份：2005
结题年份：2008
起止时间：2006-01-01 - 2008-12-31
项目状态： 已结题
项目参与者：雷树亭,杨青,王文君,刘学鹏,王伟,王先华,王宋萍,徐学武
关键词：
金属材料飞秒激光掩模版烧蚀
结项摘要
纳米量级的金属掩模版制作是下一代大规模集成芯片光刻中的关键技术。本课题提出一种利用飞秒激光烧蚀来制作金属掩模版的方法，为此，在大量的典型金属材料飞秒激光烧蚀实验研究基础上，探索飞秒激光作用下典型金属材料的热传递和破坏过程，建立激光能量吸收和分子相变数学模型，从而揭示飞秒激光对典型金属材料的烧蚀机理；进一步，提出飞秒激光对典型金属材料的加工工艺参数，通过与三维精密运动平台控制的结合，最终实现微细线宽
项目摘要
项目成果
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数据更新时间：2023-05-31
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