创成式微机电系统设计方法研究

从本质上看，国内外现有的MEMS系统设计工具都是修订式的。由底层设计方法和体系结构决定，修订式不支持大幅度、高层次的方案创新。它仅以现存方案为基础，在靠近MEMS物理结构的低抽象水平层次上进行有限修改。因此，远远无法满足企业的产品创新需求。.首次围绕高层次、大空间的MEMS方案创新，研究创成式MEMS设计的支持方法与体系结构问题。通过主动跨能量域的顶层方案设计、增设功能机构方案层、强化组件模型支持基础等，来获取更高层次和更多品种的MEMS创新方案。项目结合实例设计来增加方法研究的有效性。.本研究可以对MEMS设计方法学形成原创性贡献。其成果有利于提高MEMS设计水平，增强MEMS的产品创新能力，并可为发展新一代的MEMS CAD软件提供基础依据。